精密零部件生产中的二氧化碳喷射清洗

清洁零件和组件是一个极其关键的生产阶段，特别是在微技术方面。CO 2雪喷射清洗是干的，环境友好的方法，该方法已被证明自身在宽范围的应用。使用具有在线功能的喷雪技术意味着可以实现高达亚微米范围的可重复的高清洁度水平。

无论是处理微芯片，模塑互连设备（MID），还是机械微型零件和组件，如齿轮，齿轮和泵清洁度，都是微制造成功的关键。即使是最微小的颗粒和/或薄膜残留物也会导致故障和产品故障。因此，需要非常彻底的清洁过程。可以以可重复且有效的方式实现CO 2喷雪清洁工艺。细小的二氧化碳雪从几乎所有材料中去除颗粒污垢，例如颗粒，切屑，灰尘和薄膜残留物（例如油，脂肪和加工介质）。

二氧化碳喷射

干燥，无残留和温度与CO 2干冰喷射相比，CO 2喷雪使用液态二氧化碳作为介质。它由瓶子或罐子喂养，可以无限期储存，这意味着不再需要单独制造和储存干冰颗粒。细雪晶的柔软性还确保清洁敏感组件和精细结构而不损坏基板。

喷雪技术的“核心”是专利清洁头，设计为超音速双组分环形喷嘴。当流体二氧化碳离开喷嘴时，它膨胀形成雪气混合物，形成核心射流。此外，压缩空气作为气囊射流被迫进入，从而将CO 2雪加速到超音速。通过结合热，机械和升华功能，可实现出色的清洁效果。

热功能当喷砂剂在-78.5°C左右撞击表面时，表面迅速冷却，污垢层变得开裂和变脆。材料和污垢层的热膨胀系数的差异使结果最大化。

机械功能由于通过CO 2喷射剂传递到表面的机械效应，污垢颗粒从基板上脱离。然后二氧化碳和压缩空气射流的空气动力吹走污垢颗粒。

升华功能CO 2从固体到气体的转变产生压力波。这导致音量增加，这支持前两个功能。

由于二氧化碳转变为气相，因此待清洁的材料立即干燥。这抵消了传统湿化学方法所需的能量密集型干燥过程。不会残留清洁或冲洗残留物，从而确保医疗技术组件中的生物相容性产品。

干冰的应用

去除LDS-MIDS的消融残留物这些优点意味着干冰清洗法用于越来越多的清洁应用，用于生产微型部件。一种应用是使用LDS技术（激光直接结构化）去除MID制造中的消融残留物。该过程使电路布局能够直接在复杂的三维载体结构上生成。LDS的优点是：扩展的设计机会，相当低的元件尺寸和重量，以及更快的电子元件更改：这可以显着降低开发和批量生产的成本。激光还可以产生比传统工艺更精确的结构。热塑性材料中的特殊添加剂特定于LDS MID的制造。激光束引发物理 - 化学反应以激活该添加剂。然后在该过程中将其分解在聚合物基质中，并在随后的还原性镀铜中用作催化剂。在激光结构化期间，主动消融残留物（其也被金属化并因此可能引起问题）保留在表面上。使用CO除去这些残留物2喷雪清洁。与传统清洁相比，例如使用超声波或高压水射流，该过程同时使粗糙的激光结构平整。结果是LDS MID的简化结构和内部连接系统，例如引线键合，与未安装芯片的配合以及倒装芯片技术。此外，清洁模块可以很容易地直接集成到激光结构系统中。

无损清洗

MICROCHIP生产中的多功能CO 2喷雪清洗也通过光刻法在微芯片的经典生产中得到证明。它被用于生产Sensitec GmbH的各种应用的磁阻（MR）传感器。TOOICE 建立CO 2雪喷射技术在制造三维微芯片用于MR传感器的作为有效和环境友好的替代常规湿化学清洗。这些通常需要使用超纯介质进行昂贵的冲洗过程。CO 2技术去除了在金属化之后在导电路径的边缘处形成的所谓栅栏。然后可以将下一个结构应用于硅晶片。

由于即使是最小的流体介质残留物也会影响微电子元件的功能或保护涂层的附着，因此也需要可靠地去除这些残留物。CO 2雪为清洁和改善保护涂层的附着力提供了经济，无残留的解决方案。同时，该方法还能够选择性地处理特定部分，例如粘合和接触区域。

该方法还为RFID应用的微芯片封装提供了解决方案。在组装之前，半导体通过夹具放置在特殊的杂志中。在此过程中，机器人产生足够的气流，这可能导致极轻的芯片从包装中提起。为了防止这种情况，通过从包装后部施加的真空来抑制芯片。为此，必须钻一个小孔，并去除钻孔引起的残留物。CO 2雪喷射清洗擅长此特定工艺。

TOOICE二氧化碳清洗技术

通过使用干CO 2雪喷射清洁工艺可以有效且可靠地去除在导体路径上的溅射而在边缘处的光致抗蚀剂中的化学反应产生的栅栏。

一次操作中的微量清洁和清洁另一种应用是同时对工件进行微量去毛刺和清洁，例如齿轮，齿轮和泵组件，以及医疗技术部件。去毛刺效果首先基于雪晶对芯片的直接影响所引发的机械效应。其次，毛刺被湍流破坏，引起弯曲应力。这些过程瞬间完成。在尽可能短的时间内进行清洁和去毛刺，并获得可重复的结果。

集成自动化清洗

用于CO二氧化碳2雪喷射清洗是在化学工业中的制造过程中作为副产物产生。它不是从化石燃料中提取，所以清洗的CO 2节约资源，对环境没有影响。与湿化学清洗相比，不需要化学品，不产生废水，也不需要处理溶剂。此外，该方法显着更节能，因为不需要能量来加热，蒸馏或制备清洁介质或用于部分干燥。这使得CO 2清洁成为替代方案，其在经济和生态方面都具有相当大的益处。